肯定有的，半导体产业属于重污染企业。

首先是半导体工厂内会有大量的酸性气体（这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程）。其次，由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等，这些溶液主要是有机物质，因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中，会有大量的有机溶剂被使用，其中就包括二甲苯、丙酮、苯等，其中苯是高毒性的一级致癌物。

但环保部门只要做好相关工作，就不会产生重大污染。