硅厂污染物主要包括颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、氟化物、挥发性有机物等。颗粒物是最主要的来源，也是对环境和人体健康影响最大的污染物之一。二氧化硫、氮氧化物和氟化物会通过空气随风散布，对空气和水体造成严重污染。挥发性有机物会对空气和水源产生影响，并加重能量之间的不平衡，导致更多的绿色气体释放。硅厂污染物的排放量要受到监管，以保障环境与人类生存健康。